Каталог продукции

Корзина заказов

Общее количество:0 шт.
Общая стоимость:0 руб.

ИК фурье-анализатор ФСМ 1201П


Анализатор ФСМ 1201ПНа основе универсального ИК фурье-спектрометра ФСМ 1201 выполнен специализированный тестер полупроводниковых пластин ФСМ 1201П.

Прибор зарегистрирован в Государственном реестре средств измерений (№18895-99), регистрация подтверждена на Украине, в Белоруссии и Казахстане. 

Прибор снабжен двухкоординатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм. 
 
ИК Фурье-спектрометрия является эффективным инструментом неразрушающего контроля полупроводниковых пластин и структур, что обеспечивается международно-признанными стандартами SEMI, определяющими методы измерения концентрации междуузельного кислорода и углерода замещения в кремнии, метод измерения толщины эпитаксиальных слоев для структур типа n-n+ и p-p+, КНС и др.

Возможно определение состава слоев ФСС и БФСС, а также параметров диэлектрических слоев.

Основные контролируемые параметры

  • концентрация междуузельного кислорода (толщина пластин 0.4-2 мм) в пределах: (5x1015-2x1018)±5x1015 см-3 (SEMI MF1188);
  • концентрация углерода замещения (толщина пластин 0.4-2 мм) в пределах: (1016-5x1017)±1016 см-3 (SEMI MF1391);
  • радиальная неоднородность распределения кислорода в кремниевых пластинах (SEMI MF951);
  • толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n+ и p-p+ в пределах: (0.5-10)±0.1 мкм, (10-200)±1% мкм (SEMI MF95);
  • толщина эпитаксиальных слоев кремния в структурах КНС в пределах: (0.1-10)±1% мкм;
  • концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС в пределах: (1-10)±0.2 % вес.

 

Основные характеристики спектрометра
Спектральный диапазон, см-1 400-7800
Спектральное разрешение, см-1 1
Диаметр светового пятна на образце, мм 6
Максимальный размер пластин, мм 200
Точность позиционирования стола, мм 0.5
Время стандартного измерения в одной точке, с 20
Размеры спектрометра, мм 670x650x250
Вес спектрометра, кг 37


Основные преимущества:

  • Высокая чувствительность
    рекордное по сравнению с обычными ИК спектрометрами отношение сигнал/шум позволяет на порядок снизить порог чувствительности и повысить точность измерений.
  • Высокая производительность
    время получения спектра при стандартных требованиях к разрешению и фотометрической точности не превышает 20 с, что позволяет проводить сплошной контроль пластин в производстве, а также исследовать неоднородность по площади.
  • Бесконтактность
    в процессе измерений поверхность пластины не подвергается механическим воздействиям.
  • Автоматизация измерений
    процесс получения спектров, их обработка и контроль за перемещением пластины полностью автоматизированы. Маршрут перемещения выбирается из стандартных конфигураций (1, 5 и 9 точек) или программируется оператором. Результаты измерений автоматически протоколируются и заносятся в базу данных.

Система данных, реализованная на базе IBM совместимого персонального компьютера, обеспечивает тестирование, автоматическое управление всеми системами спектрометра, включая измерительный стол, оптимизацию режимов измерения, математическую обработку спектральных данных, работу с библиотекой спектров, графическое представление спектров на дисплее и получение копии результатов тестирования на принтере.

Обеспечивается автоматическое измерение пластины с представлением протокола и занесением результатов измерений в базу данных.