ТЕХОБОРУДОВАНИЕ

На основе универсального ИК фурье-спектрометра ФСМ 1201 выполнен специализированный тестер полупроводниковых пластин ФСМ 1201П.

Прибор зарегистрирован в Государственном реестре средств измерений (№18895-99), регистрация подтверждена на Украине, в Белоруссии и Казахстане. 

Прибор снабжен двухкоординатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм. 
 
ИК Фурье-спектрометрия является эффективным инструментом неразрушающего контроля полупроводниковых пластин и структур, что обеспечивается международно-признанными стандартами SEMI, определяющими методы измерения концентрации междуузельного кислорода и углерода замещения в кремнии, метод измерения толщины эпитаксиальных слоев для структур типа n-n+ и p-p+, КНС и др.

Возможно определение состава слоев ФСС и БФСС, а также параметров диэлектрических слоев.

Основные контролируемые параметры

• концентрация междуузельного кислорода (толщина пластин 0.4-2 мм) в пределах: (5x1015-2x1018)±5x1015 см-3 (SEMI MF1188);
• концентрация углерода замещения (толщина пластин 0.4-2 мм) в пределах: (1016-5x1017)±1016 см-3 (SEMI MF1391);
• радиальная неоднородность распределения кислорода в кремниевых пластинах (SEMI MF951);
• толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n+ и p-p+ в пределах: (0.5-10)±0.1 мкм, (10-200)±1% мкм (SEMI MF95);
• толщина эпитаксиальных слоев кремния в структурах КНС в пределах: (0.1-10)±1% мкм;
• концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС в пределах: (1-10)±0.2 % вес.

Основные преимущества:

• Высокая чувствительность
  рекордное по сравнению с обычными ИК спектрометрами отношение сигнал/шум позволяет на порядок снизить порог чувствительности и повысить точность измерений.
• Высокая производительность
  время получения спектра при стандартных требованиях к разрешению и фотометрической точности не превышает 20 с, что позволяет проводить сплошной контроль пластин в производстве, а также исследовать неоднородность по площади.
• Бесконтактность
  в процессе измерений поверхность пластины не подвергается механическим воздействиям.
• Автоматизация измерений
  процесс получения спектров, их обработка и контроль за перемещением пластины полностью автоматизированы. Маршрут перемещения выбирается из стандартных конфигураций (1, 5 и 9 точек) или программируется оператором. Результаты измерений автоматически протоколируются и заносятся в базу данных.

Система данных, реализованная на базе IBM совместимого персонального компьютера, обеспечивает тестирование, автоматическое управление всеми системами спектрометра, включая измерительный стол, оптимизацию режимов измерения, математическую обработку спектральных данных, работу с библиотекой спектров, графическое представление спектров на дисплее и получение копии результатов тестирования на принтере.

Обеспечивается автоматическое измерение пластины с представлением протокола и занесением результатов измерений в базу данных.